工業性超聲清洗機主要工作原理是超聲清洗機產生的超聲空化力、超聲空化強度與超聲參數、清洗液的理化性質、環境條件等因素有關，要取得好的清洗效果，必須選用合適的超聲參數和清洗液。影響工業超聲波清洗機清洗效果的因素有兩個：

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1.超聲清潔器的聲音強度或聲音壓力選擇。

清洗劑中，僅當交變聲壓幅大于液相靜壓時，才會產生負壓現象，超聲清洗槽內聲強應大于空化閾值。對普通液體來說，空化閾值大約是每平方厘米1/3瓦特(聲壓的千方與聲音強度的比值)。隨著聲波強度的增加，空泡的最 大半徑與初始半徑之比增大，空化強度越大，空化越強，有利于清洗。但是，聲強過高并非聲功率越大越好。將產生大量的無用氣泡，加大散射衰減，形成聲屏障，同時提高聲強也會增加非線性衰減，從而削弱遠離聲源的清洗效果。對某些難洗凈的污物，如金屬表面的氧化物、化纖噴絲板上的孔內污物，需用較高的聲音強度。這個時候被清潔面應緊貼聲源，此時多不使用槽式清洗器。而且，使用棒形聚焦式傳感器直接插入清洗液附近清洗零件表面。

2.超聲工作頻率的選擇。

聲學空化閾值與超聲頻率密切相關。換言之，頻率越高，空化閾值越高，液體中要產生空化所需的聲強或聲功率就越大；頻率越低，空化容易產生空化，同時在低頻情況下，液體受壓縮和稀疏作用的時間間隔較長。使得氣泡在破裂之前可以長大到更大的尺寸，增加空泡強度，有利于清洗作用。超聲清洗器的工作頻率按清洗對象大致分為三個頻段；低頻超聲清洗(2050KHz)、高頻超聲清洗(50-200KHz)和兆赫超聲清洗(700KHz以上)。低頻率超聲波清洗適用于大零件的表面或污物與清潔件表面結合強度高的場合。頻次低，氣穴強度高，容易對清洗件表面造成腐蝕，不適合清洗表面光潔度高的零件，而且空蝕噪音大。頻率約40KHz，在同一種聲音強度下，產生的空化泡數目要多于20KHz，穿透力強，對于復雜的表面或有盲孔的工件，且空蝕噪聲小。但是，汽蝕強度較低，適合清洗污物與被清洗件表面結合力弱的場合，高頻超聲波清洗適用于計算機、微電子元件，如磁盤、驅動器、讀寫頭、液晶玻璃及平面顯示器、微組件、拋光金屬件等的清洗。這類清潔對象要求清洗時不會發生汽蝕。能夠洗去微米級污物。用于集成電路芯片、硅晶片和簿膜等的清洗。可除去微米、亞微米級的污垢，但對清洗件無任何損害，因為此時并無空化作用，超聲清洗機制主要為聲壓梯度，粒子速度和聲流的作用，特點是具有方向上的方向性，且對清洗件無損傷。